扩散硅传感元件原理及特点
压阻效应原理
压阻效应本质就是应力的作用。 即在硅材料沿某一晶向施加一定的压力时,使它们之间的能带形状发生变化,引起单晶体电导率的改变。 其变化值与所加的应力大小和方向有着一定的关系。 扩散硅应变元件就是利用压阻效应制成的。
扩散硅压阻传感元件的特点
扩散硅压阻传感元件与其他传感元件相比具有结构简单,可微型化,输出信号大,精度高,分辨率高,频响高,低功耗,体积小,工作可靠等突出特点。
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压力类型：表压、绝压、密封压
量程范围：-100kPa…0~10kPa…100MPa
输入阻抗：2kΩ~5kΩ 恒流；
3kΩ~18kΩ 恒压
零点输出：±2mV
满量程输出：1.5mA 激励≥40mV(≤35kPa),
60~150mV(其余量程)；
10V 激励≥60mV(≤35kPa),
80~120mV(其余量程)
激励：恒流1.5mA；恒压10V
精度：0.25%F.S.(典型)
工作温度：-40℃~125℃
补偿温度：恒流0℃~60℃(≤35kPa),-10℃~70℃(其余量程)；
恒压-20℃~85℃
壳体和膜片材质：不锈钢316L
灌注液体：硅油
压力类型：表压、绝压、密封压
量程范围：-100kPa~0~100kPa…25MPa
输入阻抗：2kΩ~5kΩ恒流；3kΩ~18kΩ恒压
零点输出：±2mV
满量程输出：1.5mA激励60~150mV；
10V激励80~120mV
激励：恒流1.5mA；恒压10V
精度：0.25%F.S.(典型)
工作温度：-40℃~125℃
补偿温度：恒流-10℃~70℃；
恒压-20℃~85℃
壳体和膜片材质：不锈钢316L
灌注液体：硅油
压力类型：表压、绝压、密封压
量程范围：-100kPa…0~10kPa…10MPa
输入阻抗：2kΩ~5kΩ
零点输出：±2mV
满量程输出：≥40mV(≤35kPa)；
≥60mV(其余量程)
激励：1.5mA
精度：0.25%F.S.(典型)
工作温度：-40℃~125℃
补偿温度：0℃~60℃(≤35kPa)；
-10℃~70℃(其余量程)
壳体和膜片材质：不锈钢316L
灌注液体：硅油
【参考文献】
1 柳继昌.仪器仪表与分析监测, 1986, 1: 7- 10
2 Petersank E. Silicon as A Mechanical Material. Proc IEEE, 1982: 70
3 唐敏,黄刚.传感器世界, 1996, 7: 12- 16
4 李杰.传感器世界, 1996, 7: 13
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