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<i style='color:red'>差压传感器工作原理</i>

差压传感器工作原理

一般说来,差压传感器的主件是进口高性能的硅压阻式传感芯片,该芯片的核心部分是做成杯状的硅膜片,在硅膜片上,用半导体工艺的扩散掺杂法做四个相等的电阻,接成惠斯登电桥,再用压焊法与外引线相连。膜片的一侧是和被测系统相连接的高压腔,另一侧是低压腔,当膜片两边存在压力差而发生形变时,膜片各点产生应力从而使扩散电阻的值发生变化,电桥失去平衡,输出相应的电压,其电压大小就反映了膜片所受的压力差值,并且与压力差值成线性关系。